加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2 |
點擊次數(shù):135 更新時間:2024-11-19 |
加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
INFICON Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計 的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷 傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有 的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感 器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產(chǎn)品 的影響。先進的電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可 配置信號調(diào)節(jié),另外還有EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選 擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節(jié)約寶 貴的工具空間。INFICON Edge是同類產(chǎn)品中最小的真空 測量儀器。
優(yōu)勢 ·緊湊型,節(jié)省寶貴的工具空間 ·易于集成, EtherCAT, 各種滿刻度和法蘭,標配兩個 設(shè)定點 ·輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移 ·診斷端口用于快速維修和維護 ·兩年保修服務(wù),先進的加熱概念和真空計保護延長了使 用壽命 ·信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子 應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準 ·合規(guī)和標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS 應(yīng)用范圍 ·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程
EdgeTM CDG100D2 訂購資料
1) 優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置 2) 不能使用現(xiàn)場總線接口 粗體=標準產(chǎn)品 其他法蘭類型可按要求提供。
EdgeTM CDG100D2
規(guī)格
1) 在25°℃環(huán)境運行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性,運行兩小時后無溫度效應(yīng) 2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標記“小心燙傷!" 3) 增加10.…90% FS 4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
EdgeTM CDG100D2
EdgeTM CDG100D2
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